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CX-PRN11由差壓式MEMS壓電傳感器和皮拉尼傳感器集成組成，兩個傳感器在測量上實現無縫過渡。它具有集成一體的電子控制線路、數字通訊系統、模擬電壓輸出和作為工藝控制的兩個設定點。
產品簡介
CX-PRN11由差壓式MEMS壓電傳感器和皮拉尼傳感器集成組成，兩個傳感器在測量上實現無縫過渡。它具有集成一體的電子控制線路、數字通訊系統、模擬電壓輸出和作為工藝控制的兩個設定點。
連續真空工藝設備通常都將真空鎖作為持續抽空主腔室的界面，當真空鎖處于大氣壓時或高真空時，需要一個獨立的傳感器來指示指示閥門的開啟方向。CX-PRN11結合MEMS壓電與皮拉尼各自的優點形成一個集成的，緊湊的組件，既實現了大氣壓附件高精準、快反應、高重復的壓力測量，又擁有從大氣壓到0.01Pa的寬量程，是理想的真空鎖控制壓強傳感器。
產品特點
壓電差壓單元與皮拉尼復合寬量程
內置溫度補償，高精度
雙控制點設定開關
一鍵大氣/真空校準
電壓型模擬量輸出
支持 RS485 通訊 Modbus-RTU 協議
產品應用
半導體行業、醫藥行業、食品行業、化工行業、教育行業、機械設備、儀器儀表等行業
產品參數
| 測量范圍 | 1.0×10-2 ~ 1.5×10+5 Pa |
| 測量精度 | 3.0×10+3 ~ 1.5×10+5 Pa：±1% 讀數（壓阻段） 1.0×10-1 ~ 3.0×10+3 Pa：±5%讀數（皮拉尼段） 1.0×10-2 ~ 3.0×10-1 Pa：±10%讀數（皮拉尼段） |
| 重復性 | ±1% 全量程 |
| 最大耐壓（絕對壓力） | 2.0×10+5 Pa |
| 響應時間 | 100ms |
| 工作環境 | 工作溫度：0℃~+50℃；存儲溫度：5℃~+85℃（不結露） |
| 信號輸出 | RS485 Modbus-RTU （非隔離），波特率9600 bps ，模擬量輸出0.0V~+10.3VDC,最小阻抗10Ω |
| 供電電源 | +16 VDC至+30VDC/0.5A,最大功耗1.5W |
| 真空系統連接 | 默認DN16 ISO-KF（其他需定制 |
| 重量 | 120g （標準DN16ISO-KF法蘭） |
| 真空接觸材料 | SS304,SS316L不銹鋼，鎢燈絲，可伐合金，玻璃 |
產品規格
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