CFG500系列薄膜電容真空規是陶瓷膜片型真空壓強測量高精度器件。陶瓷是一種公認的高彈性、抗腐蝕、抗磨損、抗沖擊和振動的材料。陶瓷的熱穩定特性可以使它的工作溫度范圍高達-40～125℃，而且具有測量的高精度、高穩定性、抗過載能力強等優點。
產品簡介
CFG500系列薄膜電容真空規是陶瓷膜片型真空壓強測量高精度器件。陶瓷是一種公認的高彈性、抗腐蝕、抗磨損、抗沖擊和振動的材料。陶瓷的熱穩定特性可以使它的工作溫度范圍高達-40～125℃，而且具有測量的高精度、高穩定性、抗過載能力強等優點。
CFG500系列薄膜電容真空規采用雙片圓形薄陶瓷片封裝成背壓恒定的密封腔，當測量面出現真空負壓時，陶瓷片呈穹彎型形變，前置陶瓷片與背景陶瓷片間距發生變化導致平行電極間電容發生變化，通過測量電容變化計算電極間距離變化，通過陶瓷彈性形變進而傳感出真空壓強。由于陶瓷材料的形變恢復無遲滯使得陶瓷薄膜電容規獲得高穩定、高精度。由于氧化鋁陶瓷與氟系密封件的穩定性使得陶瓷薄膜電容規具有抗腐蝕、抗氧化能力。由于采用機械形變傳感真空壓強使得陶瓷薄膜電容規對被測量氣體不敏感特點。
產品特點
高精度測量：±0.25%讀數
對測量環境氣體不敏感
抗腐蝕、抗粉塵、抗氧化
模擬電壓輸出：0.0～+10.0VDC
RS485 Modbus-RTU 數字通訊
2路可設置控制開關
3鍵智能操作
5位ED數字顯示
產品應用
石油化工、食品藥品、機械設備、環保工程、半導體、紡織印染等眾多行業
產品參數
| 測量范圍（不限氣體種類） | CFG500-1000mBar: 1.0×10 +5~20.0 Pa CFG500-100mBar: 1.0×10 +4~2.0 Pa CFG500-10mBar: 1.0×10 +3~0.2 Pa |
| 測量精度 | ±0.25 % 讀數 |
| 重復性 | ±0. 1% 全量程 |
| 測量分辨率 | 0.002%全量程 |
| 長期穩定性 | 每年變化不大于滿量程±0.5 % （不含環境變化因素） |
| 耐壓（絕對壓力） | 3.0×10 +5Pa(三個大氣壓) |
| 反應時間 | < 10 ms |
| 溫度補償范圍 | -20oC~+80oC, ±0.01 %FS/oC |
| 工作環境 | -10oC~+50oC；5~ 85 %,不結露 |
| 儲存環境 | -20oC~+85oC；5~ 90 %,不結露 |
| 信號輸出 | 5位LED顯示，單位Pa, Torr, mBar |
| 模擬量輸出+0.0V~+10.0VDC，最小阻抗10Ω | |
RS485(非隔離)通訊，Modbus RTU；波特率9600bps | |
兩個固態繼電器設置開關60VDC 500mA | |
| 供電電源 | 24±5VDC /0.5A；整機最大功耗1.0W |
| 防護等級 | IP40，IEC529 |
| 電接口插座 | D-Sub 15 Pin，公 |
| 真空系統連接 | 默認: KF16; 其他需定制 |
| 真空測量腔體積 | 5.0 cm3 |
| 重量 | 250g (標準KF16法蘭) |
| 尺寸 | 100H X50Dia. (包括KF16法蘭) (mm) |
| 接觸真空的材料 | SS304不銹鋼, 氧化鋁陶瓷, 氟橡膠 |
產品規格
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